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无尘自动化系统

无尘自动化系统

在更加清洁的环境中,
可以大幅度提高半导体
技术的精确度与可靠

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半导体在不足半个世纪的时间里获得了飞跃发展,已经成为现代社会不可缺少的产品.半导体产品生产技术的日新月异,需要高度管理下的无尘生产车间.在无尘车间内部.不仅搬送设备要避免出现尘埃,还要在高度自动化生产过程中拥有绝对的可靠性.村田公司多年来积累了丰富的自动化生产,无人化经验,从很早就开始提供应用于无尘车间的各种搬送系统和保管设备.村田公司期待能够通过提供无尘搬送系统,提高半导体产品的生产效率和可靠性,为今后多媒体时代的发展做出应有的贡献.

 无尘自动化系统
半导体制造工厂使用的搬送系统
OHT(空中单轨无人驾驶搬运系统)
OHS(线性电动机驱动方式空中搬运系统)
RGV(有轨式无人搬送车)
AGV(无人小车车)
无尘保管系统
MCS(搬送控制、管理系统)
 
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