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无尘自动化

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半导体制造工厂使用的搬送系统

OHT(空中单轨无人驾驶搬运系统)

半导体制造工厂使用的搬送系统

OHT(空中走行式无人搬送车)

一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。 “OHT”是Overhead Hoist Transfer的简称。这一系统被广泛认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。

OHTOHT
OHT
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