无尘自动化系统｜Muratec 村田机械株式会社

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2026.10.16: 村田机械参展 SEMICON Europa 2026

2026.10.15: Murata Machinery Opens Semiconductor Material Handling Systems Training Center in Dresden, Germany

2026.08.18: 网站维护通知

2026.03.24: 企业官网改版通知

2026.01.16: 在铠侠合作伙伴日荣获最佳合作伙伴奖（设施/基础设施部门）

2025.12.12: SEMICON Japan 2025参展通知

2025.12.10: 荣获“2025台积电优良供应商卓越表现奖”

2025.10.22: 村田机械参展 SEMICON Europa 2025

2025.04.09: Murata Machinery Ltd.
Earns Intel's 2025 EPIC Supplier Award

2025.01.29: 乙巳蛇年启新程，感恩同行九十载！

2024.12.16: 荣获“2024台积电优良供应商卓越表现奖”

2024.12.05: 村田机械参展「SEMICON JAPAN 2024」展会地点：日本东京 Tokyo Big Sight（东京国际展示场）2024年12月11-13日

2024.03.29: Murata Machinery, Ltd. Earns Intel’s 2024 EPIC Distinguished Supplier Award

2024.02.10: 玉兔呈祥辞旧岁，金龙献瑞迎新春。

2023.12.12: 本公司于「SEMICON JAPAN 2023」出展展会地点：日本东京 Tokyo Big Sight（东京国际展示场）2023年12月13-15日

2023.01.20: 新春快乐！
在新的一年里，村田机械祝大家事业蒸蒸日上，
生活心想事成，身体健康平安！

2022.12.12: 本公司于「SEMICON JAPAN 2022」出展展会地点：日本东京 Tokyo Big Sight（东京国际展示场）2022年12月14-16日

2022.04.08: Murata Machinery, Ltd. Earns Intel’s 2022 EPIC Distinguished Supplier Award

2022.01.31: 春节快乐！
祝各行同仁在新的一年里工作顺利，心想事成，共创佳绩！

Muratec
Clean AMHS

村田机械面向半导体工厂的搬送系统，通过空中搬送充分发挥空间优势，将工序间的搬送效率提升至极致，实现了半导体工厂365天24小时不间断运转所需的高可靠性。

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1: OHT （空中走行式无人搬送车 - 天车）

2: OHB （空中缓存单元）

3: Stocker （载具存储立库）

4: HTC （高通量传输机）

5: NTB （近机台缓存单元）(TS300)

6: BWS （裸片晶圆存储立库）(CDWX)

7: AGV （无人搬送车）

8: Panel FOUP OHT

搬送设备存储和缓存设备控制/ 管理系统

后端工序对应系统

Muratec
Clean FA
Business

村田机械凭借多年积累的存储与自动搬送系统技术实力，为提升半导体制造工序效率提供全面的解决方案。
从硬件及软件的开发、设计，到制造、安装与售后服务，以一条龙服务为客户提供全方位支持。

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OHT（空中走行式无人搬送车 - 天车） — OHT （空中走行式无人搬送车 - 天车）

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Near Tool Buffer（近机台缓存单元）(TS300) — Near Tool Buffer （近机台缓存单元）(TS300)

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